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合肥元晶科技材料有限公司

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GaAs

砷化鎵(GaAs)單晶片

物理參數
晶體結構立方晶系
晶格常數a=5.6534 ?
熔點1237 ℃


常規產品參數
Item產品一產品二
類型/摻雜N-type/Si-dopedSemi-Insulating
制備方法VGFVGF
晶向
(100) 朝 (111) 偏 15°±0.5°(100) ± 0.5°
主定位邊(0-1-1) ± 0.5°/ 16 ± 2 mm(00-1) ± 0.5° / 32 ± 2 mm
次定位邊(0-11) ± 0.5° / 7 ± 1 mm(0-11) ± 0.5° / 18 ± 1 mm
尺寸

dia50.8 x 0.35mm

5 x 5 x 0.35mm

10 x 10 x 0.35 mm

dia100 x 0.6 mm

5 x 5 x 0.6 mm

10 x 10 x 0.6 mm

表面單面拋光雙面拋光
電阻率
(0.4~9) x 10-3 ohm-cm> 1 x 107 ohm-cm
載流子濃度
(5~40) x 1017 cm-3
位錯密度
<= 5000 cm-2< 6000 cm-2
遷移率
> 1500 cm2/V.s> 5000 cm2/V.s
TTV
< 15 μm< 15 μm
Bow< 10μm< 10 μm
Warp< 10μm< 10 μm



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