鋁鈧氮硅基外延薄膜（AlScN on Silicon wafer）
目前我司可向客戶提供4/6/8英寸的高質量、不同厚度的硅基鋁鈧氮薄膜模板。
該產品是5G射頻前端SAW/BAW濾波器、MEMS壓電傳感器，以及各種高功率、高頻電子器件的最佳襯底材料。
| 規格參數 | |||
| 直徑（inch） | 4 | 6 | 8 |
| 基材 | 硅單晶片（100）面 | ||
| 基材厚度（μm） | 525±20 | 625±15 | 725±15 |
| Sc 濃度（at%） | 40 ± 5 | ||
| 摻雜類型 | N-type/Ph | ||
| AlScN 外延層厚度（nm） | 800 | ||
| 晶面取向 | C-axis (0001) ± 0.2° | ||
| 有效面積 | > 95% | ||
| 裂紋 | No | ||
| HRXRD 半高寬 @ (0002) | <= 2.0° | ||
| 表面粗糙度（5x5μm）(nm) | <= 5 | ||
| 總厚度變化（μm） | <= 10 | <= 5 | <= 4 |
| 翹曲度（μm） | <= 25 | <= 40 | <= 40 |
| 彎曲度（μm） | <= 25 | <= 40 | <= 40 |
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