鋁鈧氮藍寶石外延片 （AlScN on Al₂O₃ wafer）

在已知的濾波器壓電材料中，氮化鋁薄膜C向聲波傳播速度可達12000m/s（傳統襯底材料的聲波傳播速度低于4000m/s）。

氮化鋁具有良好的化學和熱穩定性，以及對外界環境如壓力、溫度、應力、氣體等具有極高的靈敏性，且與常規傳統的硅基CMOS技術相兼容，因而氮化鋁薄膜是5G高頻SAW/BAW濾波器及MEMS傳感器中最優秀的壓電材料。

同時，摻雜鈧的氮化鋁薄膜能大幅提升氮化鋁薄膜的壓電系數，從而提高SAW/BAW的機電耦合系數，是新一代5G射頻SAW/BAW濾波核心襯底材料。